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层流手术室具体工艺对温度(temperature)的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度(精确度)越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。洁净手术室装修手术室的空气;手术所需的物品;医生护士的手指及病人的皮肤,防止感染,确保手术成功率。要求设计合理,设备齐全,护士工作反应灵敏、快捷,有高效的工作效率。手术室要有一套严格合理的规章制度和无菌操作规范。随着外科技术飞速发展,手术室工作日趋现代化。例如在大规模集成电路生产(Produce)的光刻曝光(exposure)工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅(silicon)片的热膨胀(inflate)系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠(Sodium)的半导体(semiconductor)车间,这种车间不宜超过25度
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